Shuttle Conveyor

 前工程からの信号、または後工程からの要求信号により、搬送されてきた基板を平行移動させ、振り分けて搬出します。シングルラインをデュアルラインに分岐、またはデュアルラインをシングルラインに合流することができます。上流もしくは下流装置の基準レールが互いに異なる場合、または検査装置のOK/NG信号にて振り分ける場合に使用します。